1、角度測(cè)量原理

      角度測(cè)量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個(gè)相對(duì)旋轉(zhuǎn)。相對(duì)旋轉(zhuǎn)后，會(huì)導(dǎo)致角度測(cè)量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會(huì)被激光干涉儀探測(cè)器探測(cè)出來(lái)，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來(lái)。激光干涉儀角度鏡能實(shí)現(xiàn)±10°以內(nèi)的角度精密測(cè)量。

2、角度測(cè)量用組件

      角度測(cè)量需要角度干涉鏡和角度反射鏡，并且角度反射鏡和角度干涉鏡必須有一個(gè)相對(duì)旋轉(zhuǎn)。相對(duì)旋轉(zhuǎn)后，會(huì)導(dǎo)致角度測(cè)量的兩束光的光程差發(fā)生變化，而光程差的變化會(huì)被激光干涉儀探測(cè)器探測(cè)出來(lái)，由軟件將線性位置的變化轉(zhuǎn)換為角度的變化顯示出來(lái)。激光干涉儀角度鏡能實(shí)現(xiàn)±10°以內(nèi)的角度精密測(cè)量。

      角度測(cè)量用到的激光干涉儀組件：

      激光干涉儀測(cè)頭、角度測(cè)量光學(xué)鏡組、Leice Measure測(cè)量軟件、Leice Analysis 分析軟件。

3、角度測(cè)量應(yīng)用

     三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)校準(zhǔn)

     傾斜工作臺(tái) / 準(zhǔn)直平臺(tái)測(cè)量（切片機(jī)/校正機(jī)等）

     XY工作臺(tái)的俯仰和扭擺評(píng)估（印刷電路板鉆床、LCD校正機(jī)等）